АНАЛИЗ ВОЗМОЖНОСТИ ПРИМЕНЕНИЯ СИСТЕМЫ РЕНТГЕНОВСКОГО КОНТРОЛЯ ДЛЯ ОЦЕНКИ МАССОВОЙ ТОЛЩИНЫ КОРПУСОВ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ

Алексей С. Артамонов, Дмитрий В. Бойченко, Анна С. Каменева

Аннотация


В работе проводится анализ возможности применения типовой установки рентгеновского контроля для оценки массовой толщины корпусов интегральных схем. Проведение подобных оценок необходимо для корректного определения значений линейных потерь энергии ионов при проведении экспериментальных исследований на ускорителях ионов высоких энергий корпусированных изделий микроэлектроники. Представлены предварительные результаты, демонстрирующие такую возможность. Рассмотрены особенности конструкции и работы системы рентгеновского контроля и выявлено, что на результаты оценок оказывает сильное влияние нестабильность характеристик рентгеновской установки, расходимость рентгеновского излучения и точность позиционирования изделия. Обоснован метод оценки массовой толщины корпусов с использованием одновременного облучения клина из известного материала с исследуемым образцом. С целью уменьшения влияния размерных эффектов допускается при наличии такой возможности обрезка части корпуса.


Ключевые слова


безопасность информационных систем, массовая толщина, корпуса интегральных схем, система рентгеновского контроля, нуклотрон NICA.

Полный текст:

PDF

Литература


1. Oliver Mikhail H. Gaerlan Measurement of material thickness using X-ray attenuation. Honors Theses. 2016. URL: https://scholarsjunction.msstate.edu/honorstheses/26 (дата обращения: 17.09.2024).

2. Chen Mincong, Li Hongmei, Chen Ziyu, Shen Ji. An examination of mass thickness measurements with X-ray sources. Applied Radiation and Isotopes 66. 2008, p. 1387–1391.
DOI: 10.1016/j.apradiso.2008.04.012.

3. Клюев В.В., Артемьев Б.В., Артемьев И.Б., Клюев З.В. Рентгеновская толщинометре в прокатном производстве цветных металлов. Известия высших учебных заведений. Машиностроение #7(664)/2015. DOI: 10.18698/0536-1044-2015-7-67-78.

4. Франк У., Денеке Н. Современная технология рентгеновского контроля. Технологии в электронной промышленности. 2006, № 1, c. 60–62. – EDN: MUDGTJ.

5. Лебедев М.Б., Сидуленко О.А., Удод В.А. Анализ современного состояния и развития систем цифровой рентгенографии. Известия Томского политехнического университета. 2008, т. 312, № 2, с. 47–55. – EDN: YLLUTR.

6. Майоров А.А. Цифровые технологии в радиационном контроле. В мире неразрушающего контроля. 2009, № 3(45),
c. 5–12. – EDN: SBYGPF.

7. Багаев К.А. Цифровая радиография, обзор технологий и зарубежных стандартов. Экспозиция. Нефть. Газ. 2012, № 7,
c. 11–13. – EDN: NVDUCV.

8. Бернард Д., Брайнт К. Использование последних технологических достижений для рентгеновского контроля электронных изделий. Технологии в электронной промышленности. 2012, № 2, с. 16–21.
URL: https://tech-e.ru/2012_2_34.php?link=1 (дата обращения: 19.09.2024).

9. Потрахов Н.Н., Жамова К.К., Бессонов В.Б., Грязнов А.Ю., Ободовский А.В. Технология оперативного рентгеновского контроля изделий из полимерных композиционных материалов. Вестник Пермского национального исследовательского политехнического университета. Аэрокосмическая техника. 2015,
№ 43, c. 97–115. DOI: 10.15593/2224-9982/2015.43.08.

10. Sinka I.C., Burch S.F., Tweed J.H., Cunningham J.C. Measurement of density variations in tablets using X-ray computed tomography. International Journal of Pharmaceutics. 2004, v. 271, p. 215–224. DOI: 10.1016/j.ijpharm.2003.11.022.

11. Freyburger Ch., Longuetaud F., Mothe F., Constant T., Leban J. Measuring wood density by means of X-ray computer tomography. Annals of Forest Science. 2009, v. 66, no. 8, p. 804.
DOI: 10.1051/forest/2009071.

12. Phillips D.H., Lannutti J.J. Measuring physical density with X-ray computed tomography. NDT&E International. 1997, v. 30, no. 6,
p. 339–350. DOI: 10.1016/S0963-8695(97)00020-0.

13. Dmitriev A.V. Main trends in radiography. NDT World. 2021, v. 23, no. 4, p. 10–13. DOI: 10.12737/1609-3178-2021-10-13.

14. Сливин А. и др. Сооружение станций для прикладных исследований на ускорительном комплексе NICA. Письма в журнал Физика элементарных частиц и атомного ядра. 2022, т. 19, № 5(244),
с. 421–425. DOI: 10.1134/S1547477122050375.

15. Butenko A.V., Syresin E.M., Tyutyunnikov S.I. et al. Analysis of Metrological Provision Problems of a Test Stand for Testing Radio-Electronic Products for Resistance to Irradiation with High-Energy Heavy Ions. Phys. Part. Nuclei Lett. 16, p. 734–743 (2019).
DOI: 10.1134/S1547477119060098.

16. Мирошин К.Г., Косарина Е.И. Определение толщины объекта контроля методом рентгеноскопии. Авиационные материалы и технологии. 2008, № 2. УДК: 621.386.8.
URL: https://cyberleninka.ru/article/n/opredelenie-tolschiny-obekta-kontrolya-metodom-rentgenoskopii (дата обращения: 20.09.2024).

17. Thorsten R. C. Johnson. Dual-Energy CT: General Principles. American Journal of Roentgenology. 2012, v. 199, no. 5 Suppl, p. 3–8. DOI: 10.2214/ajr.12.9116.




DOI: http://dx.doi.org/10.26583/bit.2024.4.12

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


Лицензия Creative Commons
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.