ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СТАТИСТИЧЕСКИХ МЕТОДОВ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ЭФФЕКТИВНОСТИ РАДИАЦИОННОГО КОНТРОЛЯ ПРОИЗВОДСТВЕННЫХ ПАРТИЙ ПЛАСТИН В СЕРИЙНОМ ПРОИЗВОДСТВЕ

Юлия М. Московская, Дмитрий В. Бойченко, Александр Ю. Никифоров

Аннотация


Радиационный контроль производственных партий пластин является обязательной (для изделий с требованиями по радиационной стойкости) частью проверки качества изделий в серийном производстве и способом подтверждения того, что технологический процесс способен обеспечить соответствие заданным требованиям стойкости. В существующей практике испытания по группе Е ОСТ В 11 0998-98 в составе системы контроля качества серийного производства микросхем являются одними из наиболее ресурсоемких и длительных, т.к. по сути повторяют методы и алгоритмы радиационных испытаний при разработке изделия, без учета ранее полученной информации с предыдущего этапа жизненного цикла изделия, а также ранее полученных результатов испытаний предыдущих партий изделия при его серийном производстве. Кроме этого, отсутствует общепринятый порядок проведения контроля радиационной стойкости производственных партий пластин, что приводит к вариативности методик и результатов испытаний, проводимых различными предприятиями и привлекаемыми ими испытательными центрами. В работе показано, что при проведении испытаний следует использовать статистические закономерности, которые позволяют с одной стороны упростить алгоритм контроля производственных партий пластин в серийном производстве, с другой стороны выявить недекларированные коррекции схемно-топологического исполнения изделия и изменения технологического процесса.

Ключевые слова


радиационная стойкость, качество, производственный процесс, статистические методы.

Полный текст:

PDF

Литература


1. Московская Ю.М., Бойченко Д.В. Прогнозный контроль радиационной стойкости микросхем в серийном производстве I. Система и алгоритмы реализации для различных категорий изделий. Изв. вузов. Электроника. 2023, т. 28, № 2, с. 189–201. DOI: 10.24151/1561-5405-2023-28-2-189-201. – EDN: ZQQOTA.

2. Московская Ю.М., Бойченко Д.В. Прогнозный контроль радиационной стойкости микросхем в серийном производстве. II. Выбор объектов испытаний и статистическая обработка результатов контроля. Изв. вузов. Электроника. 2023, т. 28, № 3, с. 337–350. DOI: 10.24151/1561-5405-2023-28-3-337-350. – EDN: UPFDOT.

3. Bogdanov, Yu.I., Bogdanova, N.A., Fastovets, D.V., Moskovskaya, Yu.M., Sogojan, A.V., and Nikiforov, A.Yu., Nonparametric statistical analysis of radiation hardness threshold variation in CMOS IC wafer lots series with the aim of process monitoring, IEEE 31st Int. Conf. on Microelectronics (MIEL), Niš, 2019, IEEE, 2019, p. 193–196.
DOI: https://doi.org/10.1109/MIEL.2019.8889642.

4. Московская Ю.М. Прогнозный контроль радиационной стойкости БИС с учетом стабильности производства. Тезисы докладов 20-й Всероссийской научно-технической конференции «Радиационная стойкость электронных систем» «Стойкость – 2017». 2017, с. 206–207.

5. Калашников О.А., Уланова А.В. Радиационные эффекты в цифровых микросхемах. Доминирующие радиационные эффекты в элементах ИС. Радиационная стойкость изделий ЭКБ: Научное издание/Под ред. д-ра наук профессора А.И. Чумакова, М.: НИЯУ МИФИ. 2015, c. 315–360.– ISBN 978-5-7262-2115-1.

6. Чумаков А.И. Радиационные эффекты в интегральных схемах, М.: ТЕХНОСФЕРА, 2024. – 384 с. – ISBN: 978-5-94836-707-1.

7. Статистическое управление технологическим процессом (методическое пособие): Серия «Все о качестве. Отечественные разработки» под ред. Г.Е. Герасимова. Выпуск 6, 2001. М.: НТК «Трек», 2001. – 60 с.

8. Крамер Г. Математические методы статистики. Крамер Гаральд; перевод А.С. Монин, А.А. Петров; под ред. А.Н. Колмогорова. Москва, Ижевск: Регулярная и хаотическая динамика, Институт компьютерных исследований, 2019. – 648 c. – ISBN 978-5-4344-0670-3.

9. Исикава К. Японские методы управления качеством. Сокр. пер. с англ. Науч. ред. и авт. предисл. А.В. Гличев. М.: Экономика, 1988. – 215 с.

10. Kalashnikov O.A. Statistical variations of integrated circuits radiation hardness. 12th European Conference on Radiation and Its Effects on Components and Systems, Seville, Spain, 2011, p. 661–664. DOI: 10.1109/RADECS.2011.6131443.

11. Согоян А.В., Артамонов А.С., Богданов Ю.И., Никифоров А.Ю. Метод испытаний интегральных схем на стойкость к дозовому воздействию на основе совместного применения гамма и рентгеновских источников. Спецтехника и связь. 2011, № 4–5, с. 39–44. URL: https://cyberleninka.ru/article/n/metod-ispytaniy-integralnyh-shem-na-stoykost-k-dozovomu-vozdeystviyu-na-osnove-sovmestnogo-primeneniya-gammai-rentgenovskih-istochnikov (дата обращения: 01.07.2025).

12. Никифоров А.Ю., Скоробогатов П.К. Физические основы лазерного имитационного моделирования объемных ионизационных эффектов в полупроводниковых приборах и ИС: Нелинейная модель. Микроэлектроника. 2006, т. 35, № 3, с. 164–177. DOI: https://doi.org/10.1134/S1063739706030024.

13. Никифоров А.Ю., Скоробогатов П.К. Физические основы лазерного экспериментального имитационного моделирования объемных ионизационных эффектов в полупроводниковых структурах, элементах и микросхемах. Линейная модель. Микроэлектроника. 2004, т. 33, № 2, с. 91–107. – EDN: OWNDLB.

14. Согоян А.В. Статистический подход к определению нормы испытаний. Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационного воздействия на радиоэлектронную аппаратуру. 2020, т. 4,
с. 5–16. – EDN: NLQZNR.

15. Большев Л.Н., Смирнов Н.В. Таблицы математической статистики. М.: Наука. Главная редакция физико-математическом литературы, 1983. – 416 с.




DOI: http://dx.doi.org/10.26583/bit.2025.3.13

Ссылки

  • На текущий момент ссылки отсутствуют.


Лицензия Creative Commons
Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.