ПРИМЕНЕНИЕ ТЕХНОЛОГИИ МАШИННОГО ЗРЕНИЯ ДЛЯ ПОВЫШЕНИЯ ТОЧНОСТИ СФОКУСИРОВАННОГО ЛАЗЕРНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ НА МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ СТРУКТУРЫ В ПРОЦЕССАХ ИССЛЕДОВАНИЙ И МИКРООБРАБОТКИ

Аннотация

Машинное зрение – это область искусственного интеллекта, занимающаяся обработкой изображений и видеопотока при помощи специальных алгоритмов. Это позволяет устройствам анализировать визуальную информацию. Машинное зрение помогает в таких задачах, как распознавание образов, сегментация изображений, обнаружение объектов и слежение за ними. В микроскопии машинное зрение играет важную роль, в частности в лазерной сканирующей микроскопии (LSM). Лазерная сканирующая микроскопия, лазерное нанесение надрезов и лазерная коррекция топологии полупроводниковых кристаллов являются важными технологическими процессами в производстве, контроле и наладке полупроводниковых кристаллов, как на отладочных образцах, так и в серийных партиях пластин. Лазерное воздействие позволяет не только механически разделять кристаллы, но и осуществлять более деликатные и малоинвазивные воздействия, в частности подстройки сопротивления тонкопленочных резисторов или пережигание перемычек, необходимых для конфигурирования схемы и отключения неиспользуемых блоков кристалла. В работе проведен анализ основных параметров системы позиционирования в составе лазерной сканирующей установки, их влияние на точность сканирования и координат воздействия сфокусированным излучением в контрольных точках. Описаны принципы алгоритмов машинного зрения при работе с изображением сканируемого объекта и результаты апробации в задаче автоматизированного лазерного пережигания перемычек на полупроводниковой пластине. Поскольку число перемычек может достигать сотен тысяч, а системы позиционирования имеют значительные погрешности машинное зрение позволяет корректировать погрешности позиционирования и повысить точность лазерного воздействия на любом участке и этапе сканирования, что значительно повышает качество итогового результата лазерного воздействия.