Маврицкий, Олег Б., Акционерное общество «Экспериментальное научно-производственное объединение СПЕЦИАЛИЗИРОВАННЫЕ ЭЛЕКТРОННЫЕ СИСТЕМЫ»; Национальный исследовательский ядерный университет «МИФИ», Россия
-
Том 29, № 4 (2022) - НАУЧНЫЕ СТАТЬИ
ОБЗОР ЛАЗЕРНЫХ СКАНИРУЮЩИХ МЕТОДОВ ИССЛЕДОВАНИЙ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР
Аннотация PDF
Контент доступен под лицензией Creative Commons Attribution 4.0 License.
Budapest Open Access Initiative.
ISSN: 2074-7128 (Print)
ISSN: 2074-7136 (On-Line)
Budapest Open Access Initiative.
ISSN: 2074-7128 (Print)
ISSN: 2074-7136 (On-Line)